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对于传感器的分辨率与精度的理解,可以拿千分尺为例,分辨率代表千分尺。多可以读到小数点后几位,但精度还与尺子的加工精度,测量方法有关系。 同样的,在光栅尺的使用中,分辨率与精度是完全不同的两个概念。光栅尺的分辨率,是指光栅尺可读取并输出的z小长度变化,对应的参数有:每毫米光栅刻线数、脉冲数、细分等。比如50线光栅和100线光栅在同等条件下分辨率就不一样,同等的50线光栅如果细分方法不一样分辨率也会不一样。光栅尺的精度,是指光栅尺输出的信号数据对测量的真实长度度的准确度,对应的参数是微米(μm)、纳米(nm)。
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放大作用
在两光栅栅线夹角较小的情况下,莫尔条纹宽度w和光栅栅距ω、栅线角θ之间有下列关系。式中,光栅尺,θ的单位为rad,w的单位为mm。由于倾角很小,sinθ很小,则w=ω /θ若ω =0.01mm,θ=0.01rad,则上式可得w=1,即光栅放大了100倍。
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