光栅尺-深圳道尔光栅尺-苏州必力信光电(商家)

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    2023-6-8

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电子细分与判向法

光栅测量位移的实质是以光栅栅距为一把标准尺子对位称量进行测量。高分辨率的光栅尺一般造价较贵,且制造困难。为了提高系统分辨率,需要对莫尔条纹进行细分,目前(2006年)光栅尺传感器系统多采用电子细分方法。当两块光栅以微小倾角重叠时,在与光栅刻线大致垂直的方向上就会产生莫尔条纹,随着光栅的移动,莫尔条纹也随之上下移动。这样就把对光栅栅距的测量转换为对莫尔条纹个数的测量。













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对于传感器的分辨率与精度的理解,可以拿千分尺为例,分辨率代表千分尺。多可以读到小数点后几位,但精度还与尺子的加工精度,测量方法有关系。 同样的,在光栅尺的使用中,分辨率与精度是完全不同的两个概念。光栅尺的分辨率,是指光栅尺可读取并输出的z小长度变化,对应的参数有:每毫米光栅刻线数、脉冲数、细分等。比如50线光栅和100线光栅在同等条件下分辨率就不一样,同等的50线光栅如果细分方法不一样分辨率也会不一样。光栅尺的精度,是指光栅尺输出的信号数据对测量的真实长度度的准确度,对应的参数是微米(μm)、纳米(nm)。



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放大作用

在两光栅栅线夹角较小的情况下,莫尔条纹宽度w和光栅栅距ω、栅线角θ之间有下列关系。式中,光栅尺,θ的单位为rad,w的单位为mm。由于倾角很小,sinθ很小,则w=ω /θ若ω =0.01mm,θ=0.01rad,则上式可得w=1,即光栅放大了100倍。



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